药液●纯水用

用于测量半导体清洗工序中使用的超纯水、高纯度药品的流量。 主体采用了耐强酸、强碱PFA树脂。

以微小范围内的流量控制为目的而开发的流量控制器。 具备流量调整、瞬时流量显示、外部输出等多种功能。

从外部流量计接收当前流量信息并自动控制设定流量。 非常适合控制半导体清洗设备中化学品和纯水的流速。

利用了在障碍物的后方产生的卡尔曼涡流的发生周期，根据流量变化的流量计。简单的结构，耐久性高，价格低。

通过 PFA 叶轮的旋转来测量流量。价格合理，测量原理简单。是出货记录第一的机型。

全部为PFA材质的面积式流量计。可对应强酸强碱且流动可见。